应用对象：
作为射频驱动等离子体系统的电源，可应用于半导体工业，包括：刻蚀、RIE、平行板、ICP、射频溅射、CVD和PVC等系统、等离子清洗、PECVD、板条射频激光源、医疗美容，也可以作为工业系统中感应加热和电介质加热设备的电源。
●固态设计使得电源具有长寿命、维护成本低等优点
●“AB”类放大器设计保证了电源工作的稳定性
●在高驻波比工况下，可以保证产品一致性的控制电路
●宽频带、低Q值线缆设计抑制了自激振荡和波动
主要技术参数指标：
●频率稳定度：≤± 0.005%
●功率稳定度：≤±0.5%
●承受驻波比：VSWR ≤2.0
●谐波输出：二次谐波低于-40dBc，三次及更高次谐波低于-50dBc
●噪音输出：低于-40dBc
●环境温度： 0~45 ℃ （不结露）
●相对湿度： ＜85%
射频电源保护:
●过热保护、驻波保护、过压保护、过流保护
产品功率/型号/频率对应表：
