移相射频电源：
移相射频电源由分离式的可移相信号发生器和某一频率/功率的射频电源组成。

应用对象
在太阳能生产设备或大规模PECVD下，需要多台射频电源同时工作于同一腔体，此时就需要控制好各个射频电源输出信号的相位，提高等离子体工作的一致性和稳定性。为此开发了可移相信号发生器，配合RSG系列射频电源，通过面板旋钮可以调节多路输出信号之间的相位差值，连续可调。

主要技术参数指标：

产品型号系列
产品命名规则： RSGYX-x
x 为信号输出通道数。例如： RSGYX-2 表示双通道移相信号源。

典型应用:

* RSG射频电源功率、频率可选，详细参数见“一、单频射频电源系列”。

 产品安装结构尺寸