移相射频电源:
移相射频电源由分离式的可移相信号发生器和某一频率/功率的射频电源组成。
应用对象
专为一些特殊射频应用需求工艺的系统设计,当同一个等离子放电腔体需要同时使用多套射频电源工作时,为了提高同一腔体内等离子体的一致性和稳定性,就可以通过调节各个射频电源输出信号的相位来达到目的。PHS-1移相信号源,配合RSG系列射频电源,通过面板旋钮可以调节多路输出信号之间的相位差值,连续可调。
主要技术参数指标:
产品型号系列
产品命名规则: PHS-1移相信号源
典型应用:
* RSG射频电源功率、频率可选,详细参数见“一、单频射频电源系列”。