产品特点：
●全新的调压式放大电路设计，使放大电路始终输出效率在任何功率点都大于65%，降低晶体管发热，增加了设备可靠性。
●独特的信号锁相设计，当多台电源在一个真空腔体工作时，可以消除“拍频”，产生稳定的等离子体。
●特有的脉冲调制电路，可以使设备在连续波和脉冲调制两种信号模式下运行。
●良好的人机界面，集成了射频电源和匹配器的控制功能，操作更为直观、简便。
●控制方式包含：本地、模拟量、232\485四种，方便用户系统集成。
主要技术参数指标：
●输出功率：5~6000瓦，连续可调
●频率：13.56MHz
●频率稳定度：≤± 0.005%
●功率稳定度：≤±0.5%
●脉冲调制参数：调制频率100Hz-30000Hz,占空比1%-95%.
●承受驻波比：VSWR ≤2.0
●谐波输出：二次谐波低于-40dBc，三次及更高次谐波低于-50dBc
●噪音输出：低于-40dBc
●环境温度： 0~45 ℃ （不结露）
●相对湿度： ＜85%
●正反向功率面板VFD显示
●手动功率调节或计算机外控功率调节
●AC380V，50Hz ，3相5线制，“Y”型接法，电流3*20A
●水冷（2.0 Kg/cm2水压）
●整机效率≥65％（6000W输出时）
●重量：30.5kg
射频电源保护：
●过热保护、驻波保护、过压保护、过流保护