产品特点：
●全新的调压式放大电路设计，使放大电路始终输出效率在任何功率点都大于75%，降低晶体管发热，增加了设备可靠性。
●独特的信号锁相设计，当多台电源在一个真空腔体工作时，可以消除“拍频”，产生稳定的等离子体。
●特有的脉冲调制电路，可以使设备在连续波和脉冲调制两种信号模式下运行。
●良好的人机界面，集成了射频电源和匹配器的控制功能，操作更为直观、简便。
●控制方式包含：本地、模拟量、232\485四种，方便用户系统集成。
主要技术参数指标：
●输出功率：30~10000瓦，连续可调
●可选频率：2MHz ~81MHz 任意固定频率
●频率稳定度：≤± 0.005%
●功率稳定度：≤±0.5%
●承受驻波比：VSWR ≤2.0
●谐波输出：二次谐波低于-40dBc，三次及更高次谐波低于-50dBc
●噪音输出：低于-40dBc
●环境温度： 0~45 ℃ （不结露）
●相对湿度： ＜85%
●正反向功率面板LED显示
●手动功率调节或计算机外控功率调节
●三相交流供电：3P+1N AC200-240V 50\60HZ @3*45A
●水冷（2 Kg/cm2水压）
●整机效率≥60％（10KW/15KW输出时）
●产品重量： 110kg
射频电源保护：
●过热保护、驻波保护、过压保护、过流保护